Download ACE Presseaussendung 09/2018-(2)
Für die Herstellung von Siliziumwafern, die als Ausgangsprodukte für Halbleiterbauelemente wie z. B. Solarzellen dienen, sind spezielle Öfen nötig. In diesen Öfen durchlaufen die Wafer bei der Herstellung unterschiedliche Prozesse. Ein optimaler Vorgang setzt dabei eine ideale Positionierung voraus. Die Beladung der Öfen nimmt bei Temperaturen, die weit über 1.000 °C liegen können, kein „Pizzabäcker“ vor, sondern eine vollautomatisierte, per Software gesteuerte Einheit. Damit Fertigungsfehler, Ausschussware und Schäden an der Gesamtkonstruktion ausgeschlossen werden, sind Linearmodule und Drehtisch der Beladungseinheit zusätzlich durch Maschinenelemente von ACE gesichert.
Beladungseinheit für die Fertigung von Wafern für die Produktion von Solarzellen
Konstruktion der LISCO GmbH mit Drehtisch, Zahnriemen- und Spindelantrieben
Von LISCO für die Sicherung der Konstruktion integrierte ACE TUBUS Strukturdämpfer
In der ca. 600 kg wiegenden Konstruktion kommen radial dämpfende TUBUS vom Typ TR97-35HD in der Schwerlastversion mit einer maximalen Energieaufnahme für den Notstopp von 3.949 Nm/Hub und maximalem Hub von 35 mm zum Einsatz
TUBUS aus der TR-HD-Familie werden mit zwei Schrauben geliefert und sind horizontal wie vertikal einfach und schnell zu befestigen. Auf Wunsch passt ACE den Bohrungsabstand an
